無色澄清的發煙液體。磋51574，熔點- 112℃，沸點76℃。溶于苯、乙醚、氯仿、四氯化碳。在潮濕空氣中能水解成亞磷酸和氯化氫，發生白煙。遇水和乙醇起分解反應，與有機物接觸會著火，有腐蝕性。遇水猛烈分解，產生大量的熱和濃煙，甚至爆炸。用作半導體摻雜劑及高純磷的原料。在整個電路生產的工藝過程中，三氯化磷的質量對控制沾污、提高集成電路成品率起著重要作用。有毒；有刺激性和腐蝕性。大鼠經口LDso：550mg/kg；大鼠吸入LCsa：104×10-6 4h。對眼睛、呼吸道黏膜有強烈的刺激作用，能使結膜發炎，喉痛，對肺和黏膜都有刺激性，液體或較濃的氣體可引起皮膚灼傷，亦可造成嚴重眼損害，甚至失明。操作人員應做好全防護。若不慎誤觸皮膚應立即用大量溫水和肥皂洗滌干凈。不可與易燃物品、潮解性等物品共貯混運。裝卸時要小心輕放，防止包裝瓶破裂。失火時，可用干沙土、干粉滅火器撲救，不可用水。遠離火種、熱源。
